朗姆研讨公司获得具有避免氦孔洞焚烧发弧的特征的高功率静电卡盘专利

　　金融界2025年1月15日音讯，国家知识产权局信息数据显现，朗姆研讨公司获得一项名为“具有避免氦孔洞焚烧/发弧的特征的高功率静电卡盘”的专利，授权公告号 CN 112970091 B，请求日期为 2019年10月。

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